在常压状态下,清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡,超声波的空穴作用会被大幅度衰减,清洗效果被减弱。在真空状态下,清洗剂中的气体会被脱出,从而避免了超声波的衰减。这一效果可以从铝箔实验中得验证:在清洗槽中分别加入未经真空脱气和经过真空脱气的碳氢清洗剂,使用相同功率的超声波对铝箔清洗一分钟,结果未经脱气的清洗剂可见轻微的震动,铝箔基本上无变化。而经过真空脱气的清洗剂剧烈震动,铝箔很快出现许多孔洞。
使用卤代烃清洗剂的超声波清洗机,利用卤代烃清洗剂沸点低的特点,在清洗的后一步,将清洗剂加热使之产生纯净的清洗剂蒸汽,用溶液蒸汽对工件进行蒸气清洗,使溶解在清洗溶液中的油污不会残留在工件表面。由于碳氢清洗剂的沸点闪点,在常压状态下不可能对工件进行蒸汽清洗。真空清洗干燥机利用液体在真空状态下沸点降低的原理,通过对密封的清洗槽抽真空,使碳氢溶剂的沸点大大降低,只需将碳氢清洗剂加热到80℃左右,就可使其沸腾,实现蒸气清洗。
清洗系统负责零部件的清洗工作, 是整个清洗机的核心。基于不同原理的通用、、柔性、超声波等清洗机的差别主要体现清洗系统上。清洗系统工艺繁多, 例如喷射类清洗系统根据不同零件以及同一零件各个部位的不同清洗要求, 就有高、低压喷射清洗工艺以及、定位清洗中的插洗、堵洗等工艺。